造成renishaw激光干涉仪出现测量误差的原因有哪些？

点击次数：2015 更新时间：2021-01-08

　　renishaw激光干涉仪集光、机、电、计算机等技术于一体。仪器采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出。

　　激光干涉仪虽然有这多优势，但是我们在使用中往往会出现检测偏离值，偏离我们的预估，以至于在高精度检测时，会对设备产生怀疑。那么，今天我们来聊一聊引起激光干涉仪测量误差的部分原因。

　　1、阿贝误差

　　因测量光学镜组的安装高度不在被测设备的运动轴上引起的测量误差称之为阿贝误差。产生的原因是设备移动时存在俯仰、扭摆差，因此光学镜组与运动轴偏置距离越远，引起的阿贝误差越大。

　　正确方式：renishaw激光干涉仪校准时线性镜组的安装高度应该尽量靠近被测轴，使激光光束与运动轴重合（或尽量靠近），减小阿贝误差。

　　2、环境因素

　　环境补偿单元能准确采集空气温度、压力、相对湿度信息，基于Edlen公式计算空气折射率，以此对激光波长进行补偿。

　　同时环境补偿单元中材料温度探头能实时高精度测量被测设备温度，对其进行温度补偿。但是往往因为操作人员将材料温度探头放置在错误的位置，致使采集的数据不能真实反映被测物体温度状态，从而增大测量误差。

　　正确方式：在线性测量中，需要开启环境补偿单元，并正确设置补偿材料的种类，放置材料温度探头的位置。在高精度的测量中，需要给予环境补偿单元以及被测物充分的恒温时间。

　　3、余弦误差

　　激光束路径与被测轴之间存在的任何未准直都会造成测得的距离和实际的运动距离之间有差异，此误差被称为余弦误差。

　　处理方法：若renishaw激光干涉仪进行测量出现余弦误差，则激光读数将会小于原本应有的数值。因此，通过“轻微”调整云台的俯仰及偏转旋钮直到取得的激光读数，将能消除轴上的余弦误差。

　　4、死程误差

　　死程误差是在线性测量过程中与环境因素改变有关的误差，在正常状况下，死程误差并不大，而且只会发生在定标后以及测量过程中的环境改变。

　　处理方法：renishaw激光干涉仪在设定定标位置时，固定反射镜和移动镜组应尽量彼此邻接，以此减小死程误差。