激光干涉仪测量平移轴角度误差的工作原理

　　激光干涉仪以光波为载体，其光波波长可以直接对米进行定义，且可以溯源至国家标准，是迄今*的高精度、高灵敏度的测量仪器，在制造领域应用广泛。

　　

　　该仪器集光、机、电、计算机等技术于一体，产品采用进口高性能氦氖激光器，其寿命可达50000小时。该仪器采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高速干涉信号采集、调理及细分技术，可实现4m/s的测量速度，以及纳米级的分辨率；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿。

　　

　　激光干涉仪主要的应用之一就是机床精度检测，今天小编就给大家介绍一下如何用该仪器测量五轴机床的平移轴角度误差。

　　

　　五轴机床每根平移轴有三个角度误差，一个滚动误差和两个倾斜误差。对于滚动误差，激光干涉仪无法测得，需要用其他设备实现，而倾斜误差，均可以用干涉仪获得。角度测量配置主要由主机、角度镜组、静态测量软件等组件构成，可满足±10°范围内的角度测量。

　　

　　角度反射镜与待测的运动轴相连，角度干涉镜是静止安装。激光头射出一束光至角度干涉镜，其内部的分光镜将光束分成两部分，一部分直接通过干涉镜，并从角度反射镜的某一半反射回激光头。

　　

　　另一条光束则通过角度干涉镜的角度分光镜，传到角度反射镜的另一半，角度反射镜使光束通过干涉镜返回到激光头。当倾斜误差发生时，角度反射镜会有俯仰等运动，即角度反射镜会相对于固定的角度干涉镜发生小角度的旋转。这会导致两条光束的光程不一致，其差值即可获取角度误差的大小。

　　

　　机床旋转轴精度测量系统包含激光头，角度干涉镜和角度反射镜，与平移轴倾斜误差测量类似，只不过旋转轴的角度反射镜是安装在转台组件上，该组件可以绕中心自身旋转。因此，在激光干涉仪测量时，待测的旋转轴向正方向旋转某一个角度后，转台组件会沿着其逆方向准确地旋转该角度，例如待测轴沿正方向旋转15°，由于误差的存在，则可能旋转（15+Δ）°；此时，转台组件会沿着逆方向准确旋转，即沿负方向旋转15°，这样就使得角度干涉镜可以保持正对着激光头。而误差Δ就是旋转轴的定位误差。